電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)分析技術是上個世紀八十年代發展起來的一種新興而功能強大的分析手段。它以獨特的接口技術融合了感耦等離子體的高效電離特性與質譜技術高精度、低噪音的優點，提供了ppt到ppq的檢出限、9個數量級的動態線性范圍，具有譜線少、干擾少、分析精度高、分析速度快、可以提供同位素信息等分析特性。ICP-MS可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppt以下。同時可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、P、S、Si、Te等，檢出限低于1ppb。與AAS、AFS、ICP-OES等其他原子光譜檢測技術相比，在分析能力上，ICP-MS是痕量元素分析的技術，在日常分析工作中應用最為廣泛，自1983年第一臺商品儀器問世以來，該項技術已從最初在地質科學上的研究應用迅速地發展到用于冶金、石油、環境、生物、醫學、半導體、核材料分析等領域。
目前，在電感耦合等離子體質譜儀領域，主流廠家主要有以下的三大品牌分別是：美國賽默飛世爾科技公司iCAPＱ系列， 美國珀金埃爾默儀器公司NexION300系列和美國安捷倫科技公司的7700系列。實驗室對目前市場上電感耦合等離子體質譜儀進行調研，美國賽默飛世爾科技公司iCAPＱ系列具有以下三大特色的優勢：
1，接口技術-----擁有兩種不同類型的接口技術，專利的嵌片設計，分高靈敏度模式和耐高鹽模式。耐高鹽模式保證長期分析高鹽樣品的穩定性；高靈敏度模式可保證滿足不同類型樣品高通量分析或大進樣量等應用需求。全新的接口設計，提供了記憶效應，最小的信號漂移，確保了工作效率。
2，Q cell碰撞反應池----全新專利設計四級桿（Qcell）碰撞反應池，平桿（Flatapole） 技術，在改善離子傳輸效率基礎上，具有質量甄別功能，可選擇性地去除干擾離子進入主四級桿質量分析器，確保在足夠高的靈敏度下獲得干擾去除效果。在碰撞模式簡便操作的通用性優勢的基礎上提供了反應模式的最優干擾去除效果。
3,直角離子傳輸----終生免維護的90度轉角離子傳輸光學系統設計，結合二次離軸提取透鏡提供了優異的靈敏度性能指標，業內信噪比。
此外，當需要進行元素形態分析時（如Cr，As，Se及Hg等），美國賽默飛世爾科技收購戴安公司后提供了一體化無縫銜接的IC-ICP-MS技術平臺，其他儀器公司僅有HPLC-ICP-MS解決方案。
